一種分子泵調(diào)試臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及分子泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種分子泵調(diào)試臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]分子泵是一種用于獲得高真空及超高真空的真空泵，具有清潔無(wú)油，抽速大，極限高，耗能少的優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于鍍膜，電子顯微鏡，質(zhì)譜儀，半導(dǎo)體及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)，單晶硅及藍(lán)寶石爐等各種需要高真空的實(shí)驗(yàn)室及工業(yè)場(chǎng)合。
[0003]分子泵在裝配完成后需要進(jìn)行動(dòng)平衡調(diào)試及研車試驗(yàn)，分子泵調(diào)試臺(tái)就是為分子泵調(diào)試提供條件并提供一定安全保護(hù)的設(shè)備?，F(xiàn)有技術(shù)中的分子泵調(diào)試臺(tái)采用的是每臺(tái)分子泵的調(diào)試位置配套獨(dú)立的前級(jí)泵、管道及閥門(mén)的方式，不僅浪費(fèi)資源，而且操作起來(lái)也比較繁瑣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種分子泵調(diào)試臺(tái)，能夠優(yōu)化操作流程，節(jié)約調(diào)試成本，實(shí)現(xiàn)更安全和集中的控制。
[0005]一種分子泵調(diào)試臺(tái)，所述調(diào)試臺(tái)由多個(gè)調(diào)試臺(tái)單元組合，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元均包括有機(jī)架、分子泵電源、真空計(jì)、控制面板以及排氣系統(tǒng)，其中:
[0006]所述機(jī)架上放置兩臺(tái)待調(diào)試分子泵，所述分子泵電源、真空計(jì)及控制面板置于所述機(jī)架的后側(cè)上方；
[0007]所述排氣系統(tǒng)的排氣管引向所述機(jī)架的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上；
[0008]每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的排氣系統(tǒng)連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上，且所述排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上。
[0009]所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元中還包括有控制每臺(tái)待調(diào)試分子泵的按鈕，所述按鈕置于所述機(jī)架最上方的橫梁前側(cè)，位于相應(yīng)待調(diào)試分子泵的上方。
[0010]在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的待調(diào)試分子泵前后各設(shè)置有一個(gè)保護(hù)條，該保護(hù)條用螺釘固定在所述機(jī)架上。
[0011]所述保護(hù)條上設(shè)置有長(zhǎng)槽孔，并在所述機(jī)架上開(kāi)多個(gè)孔。
[0012]所述排氣系統(tǒng)進(jìn)一步包括U形管、波紋管、三通管、真空擋板閥和排氣管，其中:
[0013]所述U形管的一端與所述待調(diào)試分子泵的排氣口相連，另一端依次連接所述波紋管、三通管、真空擋板閥和排氣管；
[0014]在所述三通管上安裝有充氣閥門(mén)，在所述排氣管上安裝有真空度測(cè)量點(diǎn)。
[0015]在所述前級(jí)機(jī)械泵和所述總排氣管道之間加裝有儲(chǔ)氣罐。
[0016]在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的機(jī)架兩側(cè)還安裝有多角度調(diào)試架。
[0017]由上述本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案可以看出，利用該分子泵調(diào)試臺(tái)能夠優(yōu)化操作流程，節(jié)約調(diào)試成本，實(shí)現(xiàn)更安全和集中的控制。
【附圖說(shuō)明】
[0018]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0019]圖1為本實(shí)用新型所提供的組成分子泵調(diào)試臺(tái)的一個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例所述排氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0022]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，本實(shí)施例所述的分子泵調(diào)試臺(tái)由多個(gè)調(diào)試臺(tái)單元組合，如圖1所示為組成分子泵調(diào)試臺(tái)的一個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的結(jié)構(gòu)示意圖，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元均包括有機(jī)架1、分子泵電源2、真空計(jì)3、控制面板4以及排氣系統(tǒng)5，其中:
[0023]所述機(jī)架I上可放置兩臺(tái)待調(diào)試分子泵6，該待調(diào)試分子泵可置于前方臺(tái)面上，將其置于一定高度是為了便于工人通過(guò)排氣口調(diào)節(jié)分子泵轉(zhuǎn)子下側(cè)的動(dòng)平衡；
[0024]所述分子泵電源2、真空計(jì)3及控制面板4置于所述機(jī)架I的后側(cè)上方；
[0025]所述排氣系統(tǒng)5的排氣管引向所述機(jī)架I的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上；
[0026]每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的排氣系統(tǒng)5均連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上，且所述排氣系統(tǒng)5的排氣管連接到總排氣管道上，通過(guò)將多個(gè)這樣的調(diào)試臺(tái)單元組合形成調(diào)試臺(tái)，就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)分子泵同時(shí)進(jìn)行聯(lián)動(dòng)調(diào)試。
[0027]具體實(shí)現(xiàn)中，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元中還包括有控制每臺(tái)待調(diào)試分子泵的按鈕7，所述按鈕7置于所述機(jī)架I最上方的橫梁前側(cè)，位于相應(yīng)待調(diào)試分子泵6的上方，既醒目又不容易因誤碰而造成誤操作。
[0028]另外，在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的待調(diào)試分子泵6前后各設(shè)置有一個(gè)保護(hù)條8，該保護(hù)條8用螺釘固定在所述機(jī)架I上，防止極端情況下分子泵因故障彈出，危害工人的安全。所述保護(hù)條8上還可以設(shè)置長(zhǎng)槽孔，并在所述機(jī)架I上開(kāi)多個(gè)孔，實(shí)現(xiàn)所述保護(hù)條8前后位置可調(diào)，從而適應(yīng)于不同口徑的待調(diào)試分子泵。
[0029]如圖2所示為本實(shí)用新型實(shí)施例所述排氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，排氣系統(tǒng)進(jìn)一步包括U形管21、波紋管22、三通管23、真空擋板閥24和排氣管25，其中:
[0030]所述U形管21的一端與所述待調(diào)試分子泵的排氣口相連，另一端依次連接所述波紋管22、三通管23、真空擋板閥24和排氣管25 ；
[0031 ] 在所述三通管23上還安裝有充氣閥門(mén)，在所述排氣管25上安裝有真空度測(cè)量點(diǎn)。
[0032]下面以具體的實(shí)例對(duì)上述調(diào)試臺(tái)進(jìn)行說(shuō)明，以三個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的組合為例:
[0033]三個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的三組排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上，且三組排氣系統(tǒng)均連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上。在工作時(shí)，開(kāi)前級(jí)機(jī)械泵，需要開(kāi)哪路待調(diào)試分子泵就先將其前級(jí)閥門(mén)(即真空擋板閥)打開(kāi)。此時(shí)系統(tǒng)設(shè)置為，若其他前級(jí)閥門(mén)關(guān)閉，則直接打開(kāi)要打開(kāi)的前級(jí)閥門(mén)；若其他前級(jí)閥門(mén)為打開(kāi)狀態(tài)，則先將其關(guān)閉，再打開(kāi)要打開(kāi)的前級(jí)閥門(mén)，并待前級(jí)真空度小于5Pa時(shí)，將其他前級(jí)閥門(mén)恢復(fù)為原來(lái)的狀態(tài)。
[0034]當(dāng)待調(diào)試分子泵前級(jí)真空度達(dá)到6Pa時(shí)，開(kāi)啟待調(diào)試分子泵；若要關(guān)閉其中一臺(tái)待調(diào)試分子泵時(shí)，先關(guān)閉其前級(jí)閥門(mén)，當(dāng)待調(diào)試分子泵轉(zhuǎn)速為零時(shí)，這一路的充氣閥門(mén)自動(dòng)打開(kāi)。采用這種方式就可實(shí)現(xiàn)六臺(tái)分子泵同時(shí)調(diào)試。
[0035]上述過(guò)程是針對(duì)頻繁開(kāi)關(guān)分子泵的分子泵調(diào)試臺(tái)，若需要用于調(diào)試后進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的研車試驗(yàn)，則可以進(jìn)一步在前級(jí)機(jī)械泵和總排氣管道之間加裝儲(chǔ)氣罐。當(dāng)前級(jí)真空度小于5Pa時(shí)，關(guān)閉前級(jí)機(jī)械泵，當(dāng)前級(jí)真空度大于1Pa時(shí)，打開(kāi)前級(jí)機(jī)械泵，這一過(guò)程通過(guò)電控系統(tǒng)自動(dòng)完成，這樣更加節(jié)省能源，減輕工人的勞動(dòng)強(qiáng)度。
[0036]另外，若需要對(duì)可多角度安裝的脂潤(rùn)滑分子泵進(jìn)行調(diào)試，則可以在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的機(jī)架兩側(cè)安裝多角度調(diào)試架，并通過(guò)波紋管將可多角度安裝的脂潤(rùn)滑分子泵與后側(cè)的三通管及真空擋板閥等連接，具體操作過(guò)程與垂直安裝的油潤(rùn)滑分子泵相同。
[0037]綜上所述，利用本實(shí)用新型所提供的分子泵調(diào)試臺(tái)，不僅節(jié)約了能源，規(guī)范了操作流程，降低了工人的工作難度和強(qiáng)度，保障了安全，同時(shí)也使裝調(diào)車間的布局更加合理，提高了自動(dòng)化程度，實(shí)現(xiàn)了高效率生產(chǎn)。
[0038]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于，所述調(diào)試臺(tái)由多個(gè)調(diào)試臺(tái)單元組合，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元均包括有機(jī)架、分子泵電源、真空計(jì)、控制面板以及排氣系統(tǒng)，其中: 所述機(jī)架上放置兩臺(tái)待調(diào)試分子泵，所述分子泵電源、真空計(jì)及控制面板置于所述機(jī)架的后側(cè)上方； 所述排氣系統(tǒng)的排氣管引向所述機(jī)架的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上； 每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的排氣系統(tǒng)連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上，且所述排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于，所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元中還包括有控制每臺(tái)待調(diào)試分子泵的按鈕，所述按鈕置于所述機(jī)架最上方的橫梁前側(cè)，位于相應(yīng)待調(diào)試分子泵的上方。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于，在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的待調(diào)試分子泵前后各設(shè)置有一個(gè)保護(hù)條，該保護(hù)條用螺釘固定在所述機(jī)架上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于， 所述保護(hù)條上設(shè)置有長(zhǎng)槽孔，并在所述機(jī)架上開(kāi)多個(gè)孔。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于，所述排氣系統(tǒng)進(jìn)一步包括U形管、波紋管、三通管、真空擋板閥和排氣管，其中: 所述U形管的一端與所述待調(diào)試分子泵的排氣口相連，另一端依次連接所述波紋管、三通管、真空擋板閥和排氣管； 在所述三通管上安裝有充氣閥門(mén)，在所述排氣管上安裝有真空度測(cè)量點(diǎn)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于， 在所述前級(jí)機(jī)械泵和所述總排氣管道之間加裝有儲(chǔ)氣罐。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述分子泵調(diào)試臺(tái)，其特征在于， 在所述每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的機(jī)架兩側(cè)還安裝有多角度調(diào)試架。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分子泵調(diào)試臺(tái)，所述調(diào)試臺(tái)由多個(gè)調(diào)試臺(tái)單元組合，每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元均包括有機(jī)架、分子泵電源、真空計(jì)、控制面板以及排氣系統(tǒng)，所述機(jī)架上放置兩臺(tái)待調(diào)試分子泵，所述分子泵電源、真空計(jì)及控制面板置于所述機(jī)架的后側(cè)上方；所述排氣系統(tǒng)的排氣管引向所述機(jī)架的后側(cè)，固定在后側(cè)的梁上；每個(gè)調(diào)試臺(tái)單元的排氣系統(tǒng)連接到共同的前級(jí)機(jī)械泵上，且所述排氣系統(tǒng)的排氣管連接到總排氣管道上。利用該分子泵調(diào)試臺(tái)能夠優(yōu)化操作流程，節(jié)約調(diào)試成本，實(shí)現(xiàn)更安全和集中的控制。
【IPC分類】F04D27/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204646743
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520120377
【發(fā)明人】朱秀明, 王燕, 翟曉燁, 施琦
【申請(qǐng)人】北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2015年2月28日