一種晶圓紅外檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及到晶圓檢測技術領域，尤其涉及一種晶圓紅外檢測裝置。該晶圓紅外檢測裝置，包括底板、側(cè)板、前后移動平臺、托盤、支撐桿和CCD圖像傳感器。本實用新型所涉及的一種晶圓紅外檢測裝置上設有前后移動手柄和左右移動手柄，前后移動手柄和左右移動手柄能夠調(diào)節(jié)紅外燈的位置，裝置中的精確平移手柄能夠?qū)CD圖像傳感器的位置進行精確調(diào)節(jié)，使得最終的檢測檢測效果好，圖像清晰。這樣就能在封裝過程中提前發(fā)現(xiàn)不良品，節(jié)省了成本以及人力物力。此外，該晶圓紅外檢測裝置結(jié)構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【專利說明】
一種晶圓紅外檢測裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及到晶圓檢測技術領域，尤其涉及一種晶圓紅外檢測裝置。
【背景技術】
[0002]晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅。晶圓與晶圓鍵合后，鍵合效果需要檢測設備來檢測，以便檢測出晶圓鍵合上的區(qū)域、未鍵合上的區(qū)域、氣泡以及雜質(zhì)。
[0003]為了解決上述技術問題，本實用新型設計了一種晶圓紅外檢測裝置，該晶圓紅外檢測裝置上設有前后移動手柄和左右移動手柄，前后移動手柄和左右移動手柄能夠調(diào)節(jié)紅外燈的位置，裝置中的精確平移手柄能夠?qū)CD圖像傳感器的位置進行精確調(diào)節(jié)，使得最終的檢測檢測效果好，圖像清晰。這樣就能在封裝過程中提前發(fā)現(xiàn)不良品，節(jié)省了成本以及人力物力。此外，該晶圓紅外檢測裝置結(jié)構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服【背景技術】中存在的缺陷，本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種晶圓紅外檢測裝置，包括底板、側(cè)板、前后移動平臺、托盤、支撐桿和CCD圖像傳感器，所述側(cè)板和前后移動平臺固定在底板上，所述前后移動平臺上設有前后移動手柄，所述左右移動平臺設置在前后移動平臺上，轉(zhuǎn)動前后移動手柄能夠帶動前后移動平臺前后移動，所述左右移動平臺上設有左右移動手柄，所述左右移動平臺上設有紅外燈固定座，轉(zhuǎn)動左右移動手柄能夠帶動紅外燈固定座左右移動，所述紅外燈固定座上設有紅外燈，所述側(cè)板上設有多個通風散熱孔，所述側(cè)板的頂部固定有導軌，所述托盤設置在導軌內(nèi)，所述托盤的中部設有晶圓放置孔，所述支撐桿固定在底板上，所述支撐桿的頂部設有平移臺，所述CCD圖像傳感器固定在支架上，所述支架上設有精確平移手柄，所述支架設置在平移臺上。
[0005]本實用新型所涉及的一種晶圓紅外檢測裝置，該晶圓紅外檢測裝置上設有前后移動手柄和左右移動手柄，前后移動手柄和左右移動手柄能夠調(diào)節(jié)紅外燈的位置，裝置中的精確平移手柄能夠?qū)CD圖像傳感器的位置進行精確調(diào)節(jié)，使得最終的檢測檢測效果好，圖像清晰。這樣就能在封裝過程中提前發(fā)現(xiàn)不良品，節(jié)省了成本以及人力物力。此外，該晶圓紅外檢測裝置結(jié)構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0007]圖1是本實用新型一種晶圓紅外檢測裝置的結(jié)構示意圖；
[0008]其中:1、底板;2、側(cè)板;3、通風散熱孔;4、前后移動平臺；5、前后移動手柄;6、左右移動平臺；7、左右移動手柄；8、紅外燈固定座；9、紅外燈；10、導軌；11、托盤；12、晶圓放置孔;13、支撐桿;14、平移臺；15、精確平移手柄;16、支架;17、(XD圖像傳感器。
【具體實施方式】
[0009]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結(jié)構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0010]具體實施例，請參閱圖1，一種晶圓紅外檢測裝置，包括底板1、側(cè)板2、前后移動平臺4、托盤11、支撐桿13和CCD圖像傳感器17，所述側(cè)板2和前后移動平臺4固定在底板I上，所述前后移動平臺4上設有前后移動手柄5，所述左右移動平臺6設置在前后移動平臺4上，轉(zhuǎn)動前后移動手柄5能夠帶動前后移動平臺4前后移動，所述左右移動平臺6上設有左右移動手柄7，所述左右移動平臺6上設有紅外燈固定座8，轉(zhuǎn)動左右移動手柄7能夠帶動紅外燈固定座8左右移動，所述紅外燈固定座8上設有紅外燈9，所述側(cè)板2上設有多個通風散熱孔3，所述側(cè)板2的頂部固定有導軌10，所述托盤11設置在導軌10內(nèi)，所述托盤11的中部設有晶圓放置孔12，所述支撐桿13固定在底板I上，所述支撐桿13的頂部設有平移臺14，所述CCD圖像傳感器17固定在支架16上，所述支架16上設有精確平移手柄15，所述支架16設置在平移臺14上。
[0011]本實用新型所涉及的一種晶圓紅外檢測裝置，該晶圓紅外檢測裝置上設有前后移動手柄和左右移動手柄，前后移動手柄和左右移動手柄能夠調(diào)節(jié)紅外燈的位置，裝置中的精確平移手柄能夠?qū)CD圖像傳感器的位置進行精確調(diào)節(jié)，使得最終的檢測檢測效果好，圖像清晰。這樣就能在封裝過程中提前發(fā)現(xiàn)不良品，節(jié)省了成本以及人力物力。此外，該晶圓紅外檢測裝置結(jié)構設計合理，使用方便可靠，適合推廣使用。
[0012]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之中。
【主權項】
1.一種晶圓紅外檢測裝置，包括底板(1)、側(cè)板(2)、前后移動平臺(4)、托盤(11)、支撐桿(13)和CCD圖像傳感器(17)，其特征在于:所述側(cè)板(2)和前后移動平臺(4)固定在底板(I)上，所述前后移動平臺(4)上設有前后移動手柄(5)，左右移動平臺(6)設置在前后移動平臺(4)上，轉(zhuǎn)動前后移動手柄(5)能夠帶動前后移動平臺(4)前后移動，所述左右移動平臺(6)上設有左右移動手柄(7)，所述左右移動平臺(6)上設有紅外燈固定座(8)，轉(zhuǎn)動左右移動手柄(7)能夠帶動紅外燈固定座(8)左右移動，所述紅外燈固定座(8)上設有紅外燈(9)，所述側(cè)板(2)上設有多個通風散熱孔(3)，所述側(cè)板(2)的頂部固定有導軌(10)，所述托盤(II)設置在導軌(10)內(nèi)，所述托盤(11)的中部設有晶圓放置孔(12)，所述支撐桿(13)固定在底板(I)上，所述支撐桿(13)的頂部設有平移臺(14)，所述CCD圖像傳感器(17)固定在支架(16)上，所述支架(16)上設有精確平移手柄(15)，所述支架(16)設置在平移臺(14)上。
【文檔編號】H01L21/66GK205488044SQ201620038283
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年1月15日
【發(fā)明人】王云翔
【申請人】蘇州美圖半導體技術有限公司