一種雙臺面激光直寫曝光機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及激光直寫曝光機技術(shù)領(lǐng)域，具體來說是一種雙臺面激光直寫曝光機。
【背景技術(shù)】
[0002]激光直寫曝光機相對于傳統(tǒng)曝光機，節(jié)省了制作菲林底片或光罩的工序，其產(chǎn)能高、對位精度高。但是目前市面上的激光直寫曝光機均為單臺面設(shè)計，完成一個臺面的曝光工作需要等待較長時間周期，其產(chǎn)能無法滿足生產(chǎn)需求。激光直寫曝光機在曝光之前，先要進行聚集Z軸基于曝光基板的最佳焦面的定位、CCD系統(tǒng)的對準作業(yè)后，才開始光路系統(tǒng)的曝光作業(yè)，曝光作業(yè)前準備工作時間較長，工作過程中多是出現(xiàn)操作人員等待機器后再進行人工操作，造成效率低下、產(chǎn)量低。而大部分企業(yè)為了能夠滿足產(chǎn)能需求，大多采用兩個單臺面配自動線系統(tǒng)同時工作，無形中提高了生產(chǎn)成本。如何開發(fā)出一種能夠提高激光直寫曝光機的工作效率已經(jīng)成為急需解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中激光直寫曝光機工作效率低下的缺陷，提供一種雙臺面激光直寫曝光機來解決上述問題。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]—種雙臺面激光直寫曝光機，包括一體化底座、光路系統(tǒng)、左(XD組件和右(XD組件，一體化底座上安裝有支撐底座，支撐底座上安裝有臺面支撐調(diào)整組件A，臺面支撐調(diào)整組件A包括掃描軸，掃描軸的上方安裝有聚集Z軸，聚集Z軸上方安裝有真空吸盤，
[0006]還包括臺面支撐調(diào)整組件B，臺面支撐調(diào)整組件B與臺面支撐調(diào)整組件A兩者結(jié)構(gòu)相同，臺面支撐調(diào)整組件B安裝在支撐底座上且與臺面支撐調(diào)整組件A橫向?qū)?yīng)；
[0007]支撐底座上安裝有雙滑塊運動組件和精密運動步進軸，雙滑塊運動組件和精密運動步進軸均位于臺面支撐調(diào)整組件A和臺面支撐調(diào)整組件B的上方，光路系統(tǒng)安裝在精密運動步進軸的運動滑塊上且光路系統(tǒng)的曝光方向朝向臺面支撐調(diào)整組件A或臺面支撐調(diào)整組件B，雙滑塊運動組件的左滑塊上安裝有左(XD組件，雙滑塊運動組件的右滑塊上安裝有右(XD組件，左(XD組件和右(XD組件的光源方向朝向臺面支撐調(diào)整組件A或臺面支撐調(diào)整組件B。
[0008]所述的雙滑塊運動組件包括安裝在支撐底座上的雙滑塊底座，雙滑塊底座上安裝有導軌，左滑塊和右滑塊安裝在導軌上且與導軌構(gòu)成滑動配合。
[0009]還包括隔板，隔板安裝在支撐底座上且位于臺面支撐調(diào)整組件A和臺面支撐調(diào)整組件B之間。
[0010]還包括電控系統(tǒng)，電控系統(tǒng)固定安裝在一體化底座上，左滑塊驅(qū)動電機的控制線、右滑塊驅(qū)動電機的控制線均接在電控系統(tǒng)上，精密運動步進軸的驅(qū)動控制線接在電控系統(tǒng)上。
[0011]所述的左(XD組件包括左(XD支架，左(XD支架安裝在左滑塊上，左(XD支架上安裝有左(XD系統(tǒng)，左(XD系統(tǒng)包括安裝在左(XD支架上的(XD放大光路，(XD放大光路的尾端安裝有CCD相機，CCD放大光路的前端安裝有CCD光源；右CCD組件包括右CCD支架，右C⑶支架安裝在右滑塊上，右(XD支架上安裝有右(XD系統(tǒng)，右(XD系統(tǒng)與左(XD系統(tǒng)兩者結(jié)構(gòu)相同。
[0012]有益效果
[0013]本實用新型的一種雙臺面激光直寫曝光機，與現(xiàn)有技術(shù)相比大大節(jié)省了整個曝光環(huán)節(jié)中串聯(lián)等待的時間，大大提高了產(chǎn)能，接近于兩臺單臺面的直寫曝光機同時工作的產(chǎn)能。并且降低了成本，具有占用空間小、功耗小的特點。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)立體圖；
[0015]圖2為本實用新型中雙滑塊運動組件的結(jié)構(gòu)正視圖；
[0016]圖3為本實用新型中真空吸盤的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0017]圖4為本實用新型的控制方法流程圖；
[0018]圖5為本實用新型在t4時間段時的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0019]圖6為本實用新型在t6時間段時的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0020]圖7為本實用新型在tlO時間段時的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0021]圖8為本實用新型在tl2時間段時的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0022]其中，1-支撐腳、2-掃描軸、3-聚集Z軸、4-真空吸盤、5_電控系統(tǒng)、6_光路系統(tǒng)、7-精密運動步進軸、8-雙滑塊運動組件、9-右(XD組件、10-左(XD組件、11-隔板、12-支撐底座、13- —體化底座、14-吸盤相機、15-標定Mark、16-導軌、17-左滑塊、18-左(XD支架、19-左CCD系統(tǒng)、20-右滑塊、21-右CCD支架、22-右CCD系統(tǒng)、23-雙滑塊底座、24-CCD光源、25- (XD放大光路、26-CXD相機、30-臺面支撐調(diào)整組件A、31-臺面支撐調(diào)整組件B。
【具體實施方式】
[0023]為使對本實用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達成的功效有更進一步的了解與認識，用以較佳的實施例及附圖配合詳細的說明，說明如下:
[0024]如圖1所示，本實用新型所述的一種雙臺面激光直寫曝光機，包括一體化底座13、光路系統(tǒng)6、左(XD組件10和右(XD組件9，一體化底座13的底部安裝有四個支撐腳1，支撐腳1為隔震支撐腳，支撐整個雙臺面曝光機的重量、有效降低在雙臺面工作過程中產(chǎn)生的振動，并能隔離一定頻率段的地面或外界產(chǎn)生的振動。一體化底座13上安裝有支撐底座12，支撐底座12為大理石龍門支撐結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)光路系統(tǒng)6、左C⑶組件10和右C⑶組件9的分層次固定安裝。支撐底座12上安裝有臺面支撐調(diào)整組件A30，臺面支撐調(diào)整組件A30為現(xiàn)有技術(shù)內(nèi)容，即為臺面A，其包括掃描軸2，掃描軸2用于PCB板在真空吸盤4上曝光時的移動。掃描軸2的上方安裝有聚集Z軸3，聚集Z軸3用于找到所曝光基板的最佳焦面，主要方法為圖形發(fā)生器投影到基板上光柵圖，然后上下移動聚集Z軸3，用圖形處理的方法判斷光柵圖像最佳時的聚集Z軸3位置，即被動聚焦。聚集Z軸3上方安裝有真空吸盤4，真空吸盤4用于放置PCB板。
[0025]如圖3所示，在真空吸盤4上按現(xiàn)有技術(shù)方式設(shè)有吸盤相機14和標定Markl5，吸盤相機14和標定Markl5用于長期工作時的系統(tǒng)校準，吸盤相機14用于標定光路系統(tǒng)各個光頭之間的位置關(guān)系；標定Markl5用于定期標定兩個CCD基于每個臺面坐標系的位置關(guān)系Ο
[0026]臺面支撐調(diào)整組件Β31與臺面支撐調(diào)整組件Α30配套使用，臺面支撐調(diào)整組件Β31(臺面Β)與臺面支撐調(diào)整組件Α30兩者結(jié)構(gòu)相同，同樣由掃描軸、聚焦Ζ軸和真空吸盤所組成。臺面支撐調(diào)整組件Β31與臺面支撐調(diào)整組件Α30這兩個臺面系統(tǒng)的兩根掃描軸均平行安裝于支撐底座12，聚焦Ζ軸在同一位置時，兩個臺面基于支撐底座12的高度一致。兩個臺面系統(tǒng)基于光路系統(tǒng)的焦面分別靠兩個聚焦Ζ軸調(diào)節(jié)，即兩個聚焦Ζ軸組成了兩個單獨的自動聚焦系統(tǒng)。同樣，兩個臺面系統(tǒng)的真空系統(tǒng)單獨布置，分別采用兩個鼓風機進行供氣。臺面支撐調(diào)整組件Β31安裝在支撐底座12上且與臺面支撐調(diào)整組件Α30橫向?qū)?yīng)，與臺面支撐調(diào)整組件Α30搭配使用，以提高生產(chǎn)效率。
[0027]支撐底座12上安裝有雙滑塊運動組件8和精密運動步進軸7，雙滑塊運動組件8和精密運動步進軸7均位于臺面支撐調(diào)整組件Α30和臺面支撐調(diào)整組件Β31的上方，兩者分別用于左(XD組件10、右(XD組件9和光路系統(tǒng)6的安裝固定。精密運動步進軸7可以使用Aerotech公司的型號為PR0280LM-800的步進軸，起到精確定位作用。光路系統(tǒng)6安裝在精密運動步進軸7的運動滑塊上，光路系統(tǒng)6的曝光方向朝向臺面支撐調(diào)整組件A30或臺面支撐調(diào)整組件B31，通過精密運動步進軸7上運動滑塊的運動，帶動光路系統(tǒng)6橫向(X軸方向)運動，對臺面支撐調(diào)整組件A30或臺面支撐調(diào)整組件B31上的PCB板進行曝光作業(yè)。精密運動步進軸7還可以采用中空結(jié)構(gòu)，光路系統(tǒng)6從中空結(jié)構(gòu)穿入，有利于精密運動步進軸7負載的合理分配和精密運動步進軸7壽命的提高。并且，光路系統(tǒng)6隨光路固定在精密運動步進軸7的運動滑塊上，隨精密運動步進軸7左右移動，激光光源相對于光路是靜止不動的，避免光纖因長期運動造成損傷。
[0028]如圖2所示，雙滑塊運動組件8包括安裝在支撐底座12上的雙滑塊底座23，雙滑塊底座23上安裝有導軌16。左滑塊17和右滑塊20安裝在導軌16上且與導軌16構(gòu)成滑動配合，左滑塊17、右滑塊20與導軌16構(gòu)成滑動配合的方式可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的多種方式，如左滑塊17、右滑塊20卡在導軌16上。雙滑塊運動組件8的左滑塊17上安裝有左(XD組件10，雙滑塊運動組件8的右滑塊20上安裝有右(XD組件9。左(XD組件10包括左C⑶支架18，左C⑶支架18用于安裝左C⑶系統(tǒng)19。左C⑶支架18安裝在左滑塊17上，左(XD支架18上安裝有左(XD系統(tǒng)19。左(XD系統(tǒng)19包括安裝在左(XD支架18上的CCD放大光路25，CCD放大光路25的尾端安裝有CCD相機26，CCD放大光路25的前端安裝有CCD光源24。右CCD系統(tǒng)22與左CCD系統(tǒng)19的結(jié)構(gòu)相同，同樣是由CCD系統(tǒng)放大光路、(XD系統(tǒng)高清相機和